一、核心功能定位
1、纳米级位移反馈
采用线性可变差动变压器(LVDT)原理,实现±0.05%FS的非线性精度,特别适用于微米级位移监测场景(如半导体晶圆对位)。
2、环境抗干扰系统
内置温度补偿芯片与电磁屏蔽层,在-20℃~80℃工况下保持±0.1μm/℃的温漂系数,适应机床切削液飞溅等恶劣环境。
3、多协议输出兼容
同步支持0-10V模拟量、RS-485数字输出及EtherCAT总线通讯,可直接接入PLC或工业PC系统。
二、关键技术参数
参数类别技术指标行业对比优势测量范围2mm/5mm/10mm三档可选量程覆盖90%精密机械需求分辨率0.01μm(10nm级)超越同级电容式传感器3倍重复精度±0.02%FS满足ISO 9001校准标准防护等级IP67(防油污/防尘)机床行业首选配置响应频率1kHz支持高速冲压设备监测
三、典型应用场景
1、3C制造业
●手机摄像头模组调焦机构行程控制
●笔记本转轴开合角度精密检测
2、新能源领域
●锂电池极片辊压厚度在线监测系统
●燃料电池双极板平面度测量
3、装备制造
●CNC机床主轴热变形补偿
●工业机器人末端重复定位校准
案例数据:某韩国半导体设备厂商采用DP-S2M后,晶圆切割机的定位误差从1.2μm降至0.3μm,设备OEE提升18%。